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碳化硅懸臂槳
用于光伏產業的單晶硅、多晶硅涂層擴散爐。買高溫、耐腐蝕。
用于送載有硅片的硅舟或石英舟進入涂層擴散爐爐管內。
SIC懸臂槳長度從1500mm到3000mm。亦可根據用戶要求規格定制。
碳化硅具有優異的抗折強度,優異的抗熱震性、耐腐蝕、耐磨、耐高溫、壽命長、純度高等特點。
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